真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施　　真空烧结炉主要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它规划构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施：　　一、停电　　1、停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。　　2、假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，继续运转如需求较长时刻，则将设备保持原状。　　3、假如正在加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，假如需求较长时刻时，则保持原状，让设备自然冷却下来。　　二、加热电源掉电　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。　　2、接地毛病。　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器衔接处必须衔接牢固，与反射屏绝缘要好。　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源呈现毛病，掉电的原因能够以为因为电介质击穿而引起的放电。　　三、充气气体停止　　1、抽真空开端前，气体充入时刻长或者无法充入时，请承认气体管路是否被堵塞。　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数停止后再进行检查。　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的一切气体系统。　　4、承认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

　　气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。