常见问题

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉设备组成
发布时间:2017-11-23   浏览:1639次

  气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。

  气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成,炉壳为圆柱形结构,分炉体和炉顶盖、炉底三部分,主要使用Q235钢材,炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构,夹层内设置蛇形导流板,既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力,炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。

  加热及保温层,发热体采用带式合金发热体,分三个加热区,三角形加热,分布在炉腔四周;保温层:采用全纤维炉衬复合保温结构,既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能,成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上,操作与维护非常方便。

  气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢,为保证高温真空下的工作强度,采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空,并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象,采用低电压大电流的供电方式。


免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

26 October 2017
使用熔盐电解炉前的烘炉条件

使用熔盐电解炉前的烘炉条件

  在正式投运熔盐电解炉前,烘干是至关重要的一个环节。常温-350℃时的中低温烘炉可将材料中的游离水的充分排出,材料形成化学结合,达到初期固化。今天小编就介绍下使用熔盐电解炉前的一些烘炉条件。   烘熔盐电解炉具备的条件   1.熔盐炉所有的衬里材料砌筑完毕,模具模板扯除完毕,内部卫生清理干净,并自然养护7天以上。   2.各种附件安装孔或预留孔进行封堵或临时性封堵。炉排下门孔关闭。炉下风道封闭,给风系统风阀关闭。   3.烘炉使用燃料为0#轻柴油,单台熔盐炉用油量大约5吨,12台约60吨。   4.由乙方自备储油设备、供油系统、给油泵及管线等临时设施及耗材、并负责安装和操作。   5.烘炉用的压缩空气,供气母管接至窑炉炉附近,满足5m3/min使用,压缩空气压力0.6-0.8Mpa。母管以后的材料及安装由乙方负责操作。   6.温度测温由乙方提供烘炉温度监测系统。   7.乙方提供并安装烘炉使用的连接热烟管道φ273和φ219钢管,材料为Q235-A,长度视现场实际情况而定。   8.烘炉机使用的220V与380V电源由甲方负责提供、并接至熔盐炉附近烘炉方的开关柜上,满足烘炉机200KW负荷要求,开关柜以后的材料及安装由乙方负责。   9.业主方协助把烘炉设备吊卸到合适位置,烘炉结束负责吊卸装车。 4.10.为使烘炉时材料中的水分变成蒸汽后能充分的排出,同时避免因烘炉时材料产生的蒸汽在胀力作用下使炉墙出现炸裂或脱落,熔盐炉燃烧室的外部护板的安装必须采取段焊,留出缝隙满足烘炉排汽使用。   11.在炉管下方制作临时隔墙,材料及安装由乙方负责。   12.利用熔盐电解炉正式排烟系统排烟。所有膨胀节打开,膨胀指示归零。