真空烧结炉主要用于活性金属和难溶金属以及硬质合金，磁性材料和不锈钢等的烧结。真空烧结炉实际上是低压(减压)烧结。真空度愈高，愈接近中性气氛，愈与材料不发生任何化学反应。 　　真空烧结炉的主要优点是： 　　1、有利于排除吸附气体，对促进烧结后期的收缩作用明显。 　　2、真空烧结炉对硅，铝，镁，钙等杂质或其氧化物的排除，起到提纯材料的作用。 　　3、可改善液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩和改善合金的组织结构。 　　4、是理想的惰性气氛，当不宜用其他还原性或惰性气体时，或者对容易出现脱碳，渗碳的材料，均可采用真空烧结炉。 　　5、真空烧结炉减少气氛中的有害成分(水，氧，氮等)对产品的玷污。例如，电解氢中的含水量要求降至***-40℃较为困难;而真空烧结时，真空度只要在数百Pa就相当于含水量为***-40℃。 　　真空下的液相烧结，发生粘结金属的挥发损失是个重要问题。这不仅改变和影响合金的成品成分和组织结构，而且对烧结过程本身也起阻碍作用。粘结金属的挥发损失，主要是在烧结后期(即保温阶段)发生。保温时间长，粘结金属的挥发损失就多。为此，化物杂质，水分等与材料中的碳发生反应，生成CO随炉排出。此时真空烧结炉炉压明显提高，合金中的总碳量降低。显然，碳含量的变化取决于原材料粉末中的氧含量以及烧结时的真空度。两者越高时，生成一氧化碳的反映越容易进行，脱碳也越严重。 　　熔盐电解炉的真空烧结与气体保护烧结的工艺没有根本区别，只是烧结温度低一些，一般可降低到100~150℃。这有利于延长真空烧结炉的寿命和降低电能的消耗。

　　在真空烧结炉超高温度的控制中，电阻温度系数较大的加热元件得到了广泛应用。这些加热元件具有特殊性能，通过使用，使加热器的使用寿命得到了显著提高。 　　在工业炉上进行快速升降温工艺，就要使用超高温加热材料。另外，其他高温热处理、真空钎焊、烧结以及需要快速升温的真空烧结炉设备中，超高温的加热元件也都有可能被使用。 　　常用温度高于1500℃的加热材料有金属材料、非金属材料、金属化合物、合金材料等，这些材料在常温下与高温下，电阻值相差巨大。因此，在真空烧结炉升温过程中，对加热元件进行控制具有一定难度。 　　因此，在使用高温热处理炉时，一般会采用变压器分段调压、可控硅移相调压、程控斜率升温等方法进行调控。手动调节相对简单，但难以满足自动化生产要求，工艺重复性差，还可能因操作失误，损坏加热元件。